如果把在硅晶體上的施工比成木匠活的話,光刻機的作用相當于木匠在木料上用墨斗劃線,刻蝕機的作用相當于木匠在木料上用鋸子、鑿子、斧子、刨子等施工。

光刻機用來成像,蝕刻機用來成形。他們是前后兩道工序。和做電路板有點類似。 光刻機精度高,刻蝕機精度低。

知乎網友:龍城--光刻技術,重頭戲是物理技術,光刻的前道工序如涂膠,后道如顯影,都是化學技術,對機器要求不算高。唯獨曝光工序才是最難的,其中最難又在于光刻機,也就是一只巨型單反相機,其光源和鏡頭,還有控制技術估計已經是人類的極限了,巨難做。刻蝕說得形象點就是沿著曝光圖形刻槽,化學成分比較大,并不算十分關鍵的設備,中國的刻蝕機技術還是很不錯的。
 


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